订单金额突破1亿元
客户排队等发货
11月初
首批“成都双流造”国产光刻机
将从双流集中发往全国
作为全市首家
全自动光刻设备产业化公司
中特微（成都）电子科技有限公司
落户空港聚光光电产业园
总装车间里
技术人员正紧张有序组装
这批设备主要供应光芯片
显示半导体、LED等领域
错位竞争
避开巨头主战场，拿下细分市场80%
微米级接近式光刻机，是一种半导体制造领域核心装备。长期以来，近紫外接近式光刻机赛道由德国SUSS、日本DNK、奥地利EVG等海外巨头垄断。国内同类设备普遍存在“实验室可演示、工厂难量产”的应用短板。
不同于行业扎堆角逐的高端EUV、DUV投影光刻赛道，中特微精准布局近紫外接近式光刻、LDW激光直写光刻细分市场，锁定光显示、光芯片、先进封装等核心应用场景。海外巨头对该细分领域定制化投入意愿薄弱，为国内企业创造了弯道超车的机遇。
2023年，中特微率先突破接近式光刻机技术，实现4/6英寸产品批量生产，打破海外设备垄断格局。目前，企业产品已供货国内数十家行业头部企业，细分市场光显示领域占有率在80%左右。
产能升级
订单破亿，明年产能预计300台
中特微核心技术团队源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院。成立不足五年，公司自主攻克UV-LED平行光源、双视场显微对位、视觉伺服精密运动控制三大核心技术，成为国内唯一在LED领域实现光刻机批量出货，并打入8英寸MEMS与光通信高端量产产线的国产设备厂商。
受双流产业环境吸引，今年2月，公司总部正式落户空港聚光光电产业园，建设了总装车间、黄光无尘环境测试车间，持续深耕近紫外掩模光刻赛道。
“今年整体订单金额已突破1亿元。当前，我们正在推动产品升级换代和产能提升，预计明年产能达到300台。”企业相关负责人透露，公司正同步展开面板封装激光直写光刻机研发。“产品一旦落地，我们将实现从晶圆级到面板级光刻机产品的全覆盖。”
企业所在的空港聚光光电产业园，是双流区首个由国资投资建设招商运营的特色产业园，重点聚焦光学材料、半导体装备、科学仪器等新质赛道，已聚集18家优质光电企业，包含国家专精特新“小巨人”企业1家，省级专精特新企业4家以及高新技术企业7家。
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